[实用新型]一种真空设备中抽真空系统气体抽除速度测量装置

摘要

本实用新型公开了一种真空设备中抽真空系统气体抽除速度测量装置，包括真空传感器、定流量进气装置和控制装置，真空传感器和定流量进气装置均连通设置在抽真空管道上，控制装置以电气测控形式连接真空传感器和定流量进气装置，控制装置控制定流量进气装置动作、采集定流量进气装置的状态和真空传感器的数据信息并进行计算和储存，确定真空传感器测得的真空度的数值与定流量进气装置的进气流量数值的关系。本实用新型采用真空传感器测量真空度，采用定流量进气装置确定该真空度下的进气流量，并通过控制装置将该两数据之间进行关联标定，从而确定两者之间的关联性，在之后的抽真空状态下通过对真空度的测量确定抽真空系统气体抽除速度的大小。

主权项

一种真空设备中抽真空系统气体抽除速度测量装置，所述真空设备包括真空容器、真空机组和抽真空管道，其特征在于，所述测量装置包括真空传感器、定流量进气装置和控制装置，所述真空传感器和所述定流量进气装置均连通设置在所述抽真空管道上，所述控制装置以电气测控形式连接所述真空传感器和所述定流量进气装置，所述定流量进气装置包括多个并联设置的微定流量器，每个所述微定流量器均包括两个相通的第一通口和第二通口，所述第一通口与所述抽真空管道连通，所述第二通口连通阀门。