[实用新型]一种离子测量装置有效
申请号: | 201320894366.9 | 申请日: | 2013-12-23 |
公开(公告)号: | CN203871302U | 公开(公告)日: | 2014-10-08 |
发明(设计)人: | 张建;李纲;邓丰涛;李文 | 申请(专利权)人: | 聚光科技(杭州)股份有限公司 |
主分类号: | H01J49/04 | 分类号: | H01J49/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310052 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种离子测量装置,包括离子光学系统,所述离子光学系统包括离子透镜,其特点是:所述离子测量装置还包括与所述离子透镜相连的隔离脉冲电源,及与所述隔离脉冲电源相连的控制单元和处理单元;所述控制单元控制所述隔离脉冲电源给所述离子透镜提供电压,处理单元接收并计算从离子透镜传输的离子。本实用新型具有测量实时性好、测量误差小、成本低、测量简便等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 离子 测量 装置 | ||
【主权项】:
一种离子测量装置,包括离子光学系统,所述离子光学系统包括离子透镜,其特征在于:所述离子测量装置还包括与所述离子透镜相连的隔离脉冲电源,及与所述隔离脉冲电源相连的控制单元和处理单元;所述控制单元控制所述隔离脉冲电源给所述离子透镜提供电压,离子撞击在离子透镜上形成离子电流并从所述隔离脉冲电源副边输出,所述处理单元接收并处理所述离子电流进而得到离子传输数量。
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