[发明专利]共焦扫描仪及使用它的光学测量装置有效
| 申请号： | 201380001083.X | 申请日： | 2013-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN104067158A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 石原满宏 | 申请（专利权）人： | 株式会社高岳制作所 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G01B11/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在一轴的移动工作台上安装共焦开口阵列、和在内部具有楔子型空间的移动棱镜，在移动工作台的外部设置具有楔子型顶角的固定棱镜。通过移动工作台的移动实现开口的XY扫描，与此同时，通过移动棱镜和固定棱镜的对，等效平行平面基板的厚度变化，也同时实现焦点移动（Z扫描）。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描仪 使用 光学 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种共焦扫描仪，其特征在于，由以下部分构成：移动工作台，具有至少一轴的移动轴；开口阵列，安装在上述移动工作台上，与上述移动工作台一起移动，具有多个共焦开口；移动棱镜，安装在上述移动工作台上，与上述移动工作台一起移动；以及固定棱镜，设置在上述移动工作台外，以通过与上述移动棱镜组合而构成等效的平行平面基板；随着上述移动工作台的移动，上述等效的平行平面基板的厚度变化。
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