[发明专利]水分量变动检测装置、水分量变动检测方法、真空计以及真空度变动检测方法无效
| 申请号： | 201380001723.7 | 申请日： | 2013-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN103620383A | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 金子由利子;岩本卓也;寒川潮;釜井孝浩;桥本雅彦 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/3577 | 分类号： | G01N21/3577;G01L21/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 即使测量对象空间的水分量或者压力很大地变化，也不需要切换操作，能够连续进行水分量变化或者宽频带的压力变动的检测。水分量变动检测装置(100)，具备：硅气凝胶(104)，被配置为在测量对象空间中露出；检测部(103)，检测测量对象空间中的水分量变动，检测部(103)具有：光源(111)，向硅气凝胶(104)照射具有1850nm以上且1970nm以下的至少一部分波长区域的光；受光部(110)，接受透过硅气凝胶(104)的光中的、具有1850nm以上且1970nm以下的至少一部分波长区域的光；以及运算部(114)，根据由受光部(110)接受的光的强度的变化，运算测量对象空间中的水分量变动。 | ||
| 搜索关键词： | 水分 变动 检测 装置 方法 真空计 以及 真空 | ||
【主权项】：
一种水分量变动检测装置，具备：硅气凝胶，被配置为在测量对象空间中露出；以及检测部，检测所述测量对象空间中的水分量变动，所述检测部具有：光源，向所述硅气凝胶照射具有1850nm以上且1970nm以下的至少一部分波长区域的光；受光部，接受透过所述硅气凝胶的光中的、具有1850nm以上且1970nm以下的至少一部分波长区域的光；以及运算部，根据由所述受光部接受的光的强度，运算所述测量对象空间中的水分量变动。
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