[发明专利]氧化物结晶薄膜的制造方法在审
| 申请号： | 201380002359.6 | 申请日： | 2013-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN104736747A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 织田真也;人罗俊实 | 申请（专利权）人： | 株式会社FLOSFIA |
| 主分类号： | C30B29/16 | 分类号： | C30B29/16;C23C16/40;C30B7/14;C30B25/14;C30B29/22;H01L21/205;H01L21/368 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 龚敏;王刚 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供能够同时实现碳杂质浓度的降低和高成膜速度、并且能够分别制作稳定的结晶结构的薄膜制造方法。本发明提供一种氧化物结晶薄膜的制造方法，其具备：使含有镓化合物和铟化合物中的至少一种和水的原料溶液进行微粒化，将所生成的原料微粒通过载气供给至成膜室中，在上述成膜室内配置的被成膜试样上形成氧化物结晶薄膜的工序，上述镓化合物和铟化合物中的至少一种为溴化物或碘化物。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 结晶 薄膜 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化物结晶薄膜的制造方法，其中，具备：将使含有镓化合物和铟化合物中的至少一种和水的原料溶液进行微粒化而生成的原料微粒通过载气供给至成膜室中，在所述成膜室内配置的被成膜试样上形成氧化物结晶薄膜的工序，所述镓化合物和铟化合物中的至少一种为溴化物或碘化物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社FLOSFIA;，未经株式会社FLOSFIA;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380002359.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：缝制用框的框边限制装置
- 下一篇：铁素体系不锈钢及其制造方法
