[发明专利]同时执行电镀和光诱导镀的用于太阳能电池基板的镀设备和镀方法

摘要

本发明涉及同时执行使用电镀和光诱导镀的用于太阳能电池基板的镀设备和镀方法。本发明的镀设备包括夹具（201），用于允许是将要进行镀处理的对象的晶圆（1）在镀槽（209）的中心处垂直地浸没在镀溶液中；第一镀单元（200），其包括对称地布置在镀槽（209）的两侧上以面对晶圆（1）的多个阳极部件（210），第一镀单元执行电镀；以及第二镀单元（300），其被布置在相对于第一镀单元（200）被物理地阻隔的光源容纳单元（310）中，第二镀单元（300）被分别布置在阳极部件（210）的后侧，并且通过使用将朝向晶圆（1）照射的LED灯（301）来执行光诱导镀。

主权项

一种镀设备，所述镀设备包括：夹具，所述夹具保持将在镀槽的中心处进行镀处理的晶圆使得所述晶圆垂直地浸没在所述镀槽中的镀溶液中；第一镀单元，所述第一镀单元包括对称地布置在所述镀槽的两侧并且面对所述晶圆的多个阳极部件，所述第一镀单元执行电镀；以及第二镀单元，所述第二镀单元被布置在相对于所述第一镀单元被物理地阻隔的光源容纳单元中，所述第二镀单元被布置在所述阳极部件的后面以通过使用将光照射到所述晶圆上的LED灯来执行光诱导镀，其中，所述多个阳极部件具有相同的宽度并且在所述镀槽中以与每个阳极部件的宽度相同的距离彼此隔开，并且当执行所述光诱导镀时，所述夹具被控制为将所述晶圆在所述镀溶液中在平行于所述阳极部件的方向上移动，使得其上从所述LED灯发射的光的接收由于所述阳极部件的位置而中断的区域均匀地分布在所述晶圆的表面上。