[发明专利]工作台装置及输送装置

摘要

工作台装置（100）包括：第1构件（1），其能够在水平面内移动；第2构件（2），其能够相对于第1构件相对移动；第1引导装置（4），其至少一部分配置于第1构件，并以通过第1构件的移动使第2构件沿与同水平面正交的第1轴线平行的方向移动的方式引导第2构件；工作台（10），其支承于第2构件；第3构件（3），其上表面侧的至少一部分连接于工作台；轴承构件（5），其具有能够向该轴承构件与第3构件的侧面之间供给气体的第1供给口（15），利用从第1供给口供给的气体在该轴承构件与第3构件的侧面之间形成气体轴承，并以能够使第3构件沿与第1轴线平行的方向移动的方式支承第3构件；致动器（7），其产生用于使第1构件移动的动力；以及重力补偿装置（60），其配置为与第3构件的下表面所面对的空间相面对，并具有用于向空间供给气体的第2供给口。

主权项

一种工作台装置，其中，该工作台装置包括：第1构件，其能够在水平面内移动；第2构件，其能够相对于上述第1构件相对移动；第1引导装置，其至少一部分配置于上述第1构件，并以通过上述第1构件的移动使上述第2构件沿与同上述水平面正交的第1轴线平行的方向移动的方式引导上述第2构件；工作台，其支承于上述第2构件；第3构件，其具有上表面、下表面以及连结上述上表面与上述下表面的侧面，上述上表面侧的至少一部分连接于上述工作台；轴承构件，其具有能够向该轴承构件与上述第3构件的侧面之间供给气体的第1供给口，利用从上述第1供给口供给的气体在该轴承构件与上述第3构件的侧面之间形成气体轴承，并以能够使上述第3构件沿与上述第1轴线平行的方向移动的方式支承上述第3构件；致动器，其产生用于使上述第1构件移动的动力；以及重力补偿装置，其配置为与上述第3构件的下表面所面对的空间相面对，并具有用于向上述空间供给气体的第2供给口。