[发明专利]流化床反应器设备用的高温级钢有效
| 申请号： | 201380003721.1 | 申请日： | 2013-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN104302810A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·V·斯潘格勒;马修·J·米勒 | 申请（专利权）人： | 瑞科硅公司 |
| 主分类号： | C23C30/00 | 分类号： | C23C30/00;C23C26/00;B32B15/08 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;穆德骏 |
| 地址： | 美国华*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用在加热过的硅沉积反应器中的反应室衬管的实施方案。所述衬管具有：上部；中部，所述中部包含不同于不锈钢合金的材料；以及下部，所述下部包含马氏体不锈钢合金。所述衬管的上部的组成与所述下部的基本类似。 | ||
| 搜索关键词： | 流化床 反应器 备用 高温 | ||
【主权项】：
一种用在加热过的硅沉积反应器中的反应室衬管，所述衬管具有内表面，其被构造为限定出反应室的一部分，所述内表面包含：上部；中部，所述中部包含不同于不锈钢合金的材料；以及下部，其中所述下部的内表面的至少一部分为马氏体不锈钢合金。
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