[发明专利]包含具有碳碳多重键的树脂的钝化膜形成用组合物

摘要

本发明的课题是提供使电绝缘性、耐热性、耐溶剂性、干法回蚀特性同时实现的钝化膜。作为解决本发明课题的手段涉及一种钝化膜形成用组合物，其包含具有下述式(i)：(式中，T⁰表示磺酰基、氟代亚烷基、环状亚烷基、具有取代基的亚芳基、或可以具有取代基的亚芳基与氟代亚烷基或环状亚烷基的组合。)的单元结构的聚合物，在该聚合物的末端、侧链、或主链具有至少一个具有式(2‑A)、式(2‑B)或这两种结构的基团。聚合物可以具有下述式(1)的单元结构。AA式。

主权项

1.一种晶片，具有保护IC电路或背面电极的钝化膜，所述钝化膜是将钝化膜形成用组合物涂布于基板并烘烤而获得的，所述钝化膜形成用组合物包含具有下述式(1‑16)、式(1‑43)、式(1‑44)或式(1‑45)所示的单元结构的聚合物，