[发明专利]利用不对称偏振的干涉仪及利用其的光学装置无效
| 申请号： | 201380004974.0 | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN104040286A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 徐长一 | 申请（专利权）人： | 株式会社高永科技 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及干涉仪及利用其的光学装置，现有的光学装置的干涉图样不鲜明并且光源与干涉仪的距离存在制约，因此存在需要精密的控制装置。对此本发明进行了改善，控制干涉仪的波长板，将根据偏振分束器分割的目标光与基准光的振幅不对称，进而可调节干涉图样的明暗。另一方面，以光学装置的光源使用可调激光适用频率扫描方式，进而不使光源与干涉仪之间的距离受到制约。根据本发明的干涉仪及光学装置，包括：波长板，其可控制入射偏振分束器的线偏振的光的偏振方向；偏振分束器；波长板及偏振板，其使目标光与基准光可在图像拾取设备干涉变换偏振。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 不对称 偏振 干涉仪 光学 装置 | ||
【主权项】：
一种干涉仪，其特征在于，包括：第1波长板(370)，其设置在光源产生的光的进行方向；第1偏振分束器(310)，其以第1方向反射通过所述第1波长板(370)的光的一部分，以第2方向透射光的一部分；第2波长板(340)，其配置在以所述第1方向反射的光的进行方向；第3波长板(350)，其配置在以所述第2方向透射的光的进行方向；测量目标物(320)，其配置在通过所述第2波长板(340)的光的进行方向；基准镜面(330)，其配置在通过所述第3波长板(350)的光的进行方向；及第1偏振板(360)，在所述测量目标物(320)反射的光通过所述第2波长板(340)之后，透射所述第1偏振分束器(310)的光及在所述基准镜面(330)反射的光通过所述第3波长板(350)之后，其配置在在所述第1偏振分束器(310)反射的光的进行方向。
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