[发明专利]片材粘贴装置及粘贴方法有效

专利信息
申请号: 201380007446.0 申请日: 2013-01-17
公开(公告)号: CN104221139B 公开(公告)日: 2016-10-19
发明(设计)人: 杉下芳昭 申请(专利权)人: 琳得科株式会社
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 刘晓迪
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种片材粘贴装置及粘贴方法。本发明的片材粘贴装置(1)具备:具有相对于水平面倾斜的倾斜面(21)且由该倾斜面(21)支承板状部件(WF)的支承装置(2);以将粘接片材(AS)暂时粘贴于带状剥离片材(RL)的一面的卷料(RS)作为抽出对象物进行抽出的抽出装置(3);从由抽出装置(3)抽出的卷料(RS)的剥离片材(RL)剥离粘接片材(AS)的剥离装置(4);将由剥离装置(4)剥离的粘接片材(AS)按压于板状部件(WF)的按压装置(5);使支承装置(2)和按压装置(5)在倾斜面(21)的面内方向上相对移动而将粘接片材(AS)粘贴在板状部件(WF)上的移动装置(7)。
搜索关键词: 粘贴 装置 方法
【主权项】:
一种片材粘贴装置,其特征在于,具备:支承装置,其具有相对于水平面倾斜的倾斜面,由该倾斜面支承利用搬运装置搬运的板状部件;抽出装置,其以将粘接片材暂时粘贴于带状剥离片材的一面的卷料作为抽出对象物而进行抽出;剥离装置,其从由所述抽出装置抽出的卷料的剥离片材剥离所述粘接片材;按压装置,其将由所述剥离装置剥离的粘接片材按压于所述板状部件;移动装置,其使所述支承装置和所述按压装置在所述倾斜面的面内方向相对移动而将所述粘接片材粘贴在所述板状部件上;承接装置,在解除了所述支承装置对板状部件的支承时,所述承接装置承接该板状部件;所述承接装置具备在所述支承装置的下侧设置的收纳部件和在与所述倾斜面对置的位置设置的防倾倒板。
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