[发明专利]用于分散的基板的具有蜂巢式结构的动态负载锁定

摘要

本发明提供一种动态负载锁定腔室，该动态负载锁定腔室包括沿该动态负载锁定腔室的长度放置以实现从腔室的大气压力侧至处理压力侧的期望气压梯度的数个致动器。该腔室包括传输带，该传输带连续贯穿腔室以完成以下步骤：若基板位于生产线的入口侧，则将基板从腔室的大气压力侧传输至处理压力侧，且若基板经放置于生产线的出口侧，则将基板从腔室的处理压力侧传输至大气压力侧。分离机构可附接于输送带以将腔室内的分散区域分离成数个分散容积。基板可设置在分离机构之间，使得在传输基板穿过腔室时维持腔室内的邻近压力区域之间的分离。

主权项

一种负载锁定腔室，所述负载锁定腔室包含：一或更多个壁，所述一或更多个壁界定在大气压力下的第一区域与处理压力下的第二区域之间延伸的负载锁定区域；线性输送机构，所述线性输送机构设置在所述负载锁定区域内并从所述第一区域延伸至所述第二区域；数个分离机构，所述数个分离机构耦接至所述线性输送机构并经放置以将所述负载锁定区域分成数个分散区域，其中所述线性输送机构经配置以支撑并移送设置在所述数个分散区域内的一或更多个基板；及一或更多个致动器，所述一或更多个致动器与所述负载锁定区域流体连通并经配置以降低所述数个分散区域的每一者中的所述压力。