[发明专利]微电子机械系统(MEMS)多轴加速计电极结构有效
| 申请号： | 201380007577.9 | 申请日： | 2013-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN104105945B | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | C·阿卡;约翰·加德纳·布卢姆斯伯 | 申请（专利权）人： | 快捷半导体公司 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712;G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司11270 | 代理人： | 归莹,张颖玲 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 除其他情况之外，本文档讨论了惯性传感器，其包括在器件层的x‑y平面中形成的单个质量块，所述单个质量块包括单个中心锚，所述单个中心锚被配置为使所述单个质量块悬吊在通孔晶片上方。所述惯性传感器还包括在所述惯性传感器相应的第一侧和第二侧上的所述器件层的所述x‑y平面中形成的第一电极定子框架和第二电极定子框架，所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架关于所述单个中心锚对称，并且每个电极定子框架独立地包括中心平台和被配置为将所述中心平台固定到所述通孔晶片上的锚，其中所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架的所述锚沿着所述中心平台相对于所述单个中心锚不对称。 | ||
| 搜索关键词： | 微电子 机械 系统 mems 加速 电极 结构 | ||
【主权项】：
一种惯性传感器，包括：单个质量块，所述单个质量块在器件层的x‑y平面中形成，所述单个质量块包括单个中心锚，所述单个中心锚被配置为使所述单个质量块悬吊在通孔晶片上方；第一电极定子框架和第二电极定子框架，所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架在所述惯性传感器相应的相对的第一侧和第二侧上的所述器件层的所述x‑y平面中形成，所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架关于所述单个中心锚对称，并且每个电极定子框架独立地包括：中心平台；和锚，所述锚被配置为将所述中心平台固定到所述通孔晶片上；其中所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架的所述锚沿所述中心平台相对于所述单个中心锚不对称地放置。
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