[发明专利]可光致固化的组合物在审
| 申请号： | 201380008704.7 | 申请日： | 2013-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN104106006A | 公开（公告）日： | 2014-10-15 |
| 发明（设计）人： | 裘再明;道格拉斯·C·富尔 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 牛海军 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明描述了包含硅氧烷-聚醚嵌段共聚物的低表面能光致抗蚀剂组合物，其中所述硅氧烷嵌段占所述共聚物的35重量％或更多当与光致抗蚀剂组合物化合时，该组合物允许光掩膜从光致抗蚀剂层释放。 | ||
| 搜索关键词： | 可光致 固化 组合 | ||
【主权项】：
一种可光致固化的组合物，包含：a)光致抗蚀剂组分，和b)硅氧烷‑聚醚嵌段共聚物，其中所述硅氧烷嵌段占所述共聚物的≥35重量％，和c)光引发剂。
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