[发明专利]擦拭垫、使用该垫的喷嘴维护装置和涂覆处理装置

摘要

本发明提供一种用于擦拭附着在狭缝喷嘴的喷出口和喷嘴侧面的处理液的擦拭垫(49)，其中，该擦拭垫(49)包括：刮除边(49d1)，其以与上述喷出口的长边方向交叉、并能够与上述喷出口和上述喷嘴侧面相抵接的方式设置；以及导出路径(49a)，其用于将由该刮除边(49d1)刮除的处理液向在沿着喷嘴长边方向的移动方向上的比上述刮除边(49d1)靠前侧的位置排出，上述导出路径(49a)是沿着上述移动方向形成于垫上表面(49g)侧的V字槽，上述V字槽形成为在上述V字槽的后端缘部形成有上述刮除边(49d1)且槽宽度和深度随着自上述刮除边(49d1)朝向前方去而逐渐变大。

主权项

一种擦拭垫，使该擦拭垫相对于具有在被处理基板的宽度方向上较长的狭缝状的喷出口且在上述喷出口的前后两侧平行地延伸的喷嘴侧面形成为朝向喷出口去自上而下逐渐变细的锥形状的喷嘴自喷嘴长边方向的一端侧移动到另一端侧，从而擦拭附着在上述喷出口和上述喷嘴侧面的处理液，其中，上述擦拭垫包括：刮除边，其以与上述喷出口的长边方向交叉、并能够与上述喷出口和上述喷嘴侧面相抵接的方式设置；以及导出路径，其用于将由该刮除边刮除的处理液向在沿着上述喷嘴长边方向的移动方向上的比上述刮除边靠前侧的位置排出，上述导出路径是沿着上述移动方向形成于垫上表面侧的V字槽，上述V字槽形成为在上述V字槽的后端缘部形成有上述刮除边且槽宽度和深度随着自上述刮除边朝向前方去而逐渐变大。