[发明专利]在线可调式磁棒有效
| 申请号： | 201380009051.4 | 申请日： | 2013-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN104137221B | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | W·德博斯谢尔;I·范德皮特;G·国彬 | 申请（专利权）人： | 梭莱先进镀膜工业有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 柳爱国 |
| 地址： | 比利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于可旋转地承载溅射靶管(200)且用于约束所述溅射靶管内的磁棒的终端模块(100)。终端模块(100)包括用于接收磁棒接头(150)的插孔，其中所述插孔包括信号连接器的第一部分(162)，所述信号连接器的第一部分设置用于从所述磁棒接头(150)接收信号连接器的第二部分(164)并允许在终端模块(100)和磁棒(220)之间形成信号连接器。终端模块适用于为信号连接器提供保护装置，以用于保护信号连接器避免由于周围的冷却流体和/或由于周围的高能量场而退化、损坏或者受到在终端模块和磁棒之间传输的功率信号和/或数据信号的干扰。本发明还提供了一种对应的磁棒，以及一种用于调节柱状溅射装置中的磁棒的磁性构造的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 在线 调式 | ||
【主权项】：
一种用于可旋转地承载溅射靶管(200)且用于约束所述溅射靶管内的磁棒的终端模块(100)，所述终端模块包括用于接收磁棒接头(150)的插孔，其中所述插孔包括信号连接器的第一部分(162)，所述信号连接器的第一部分设置用于从所述磁棒接头(150)接收信号连接器的第二部分(164)并允许在终端模块(100)和磁棒(220)之间形成信号连接，所述终端模块包括用于引导冷却流体的冷却液体通道，所述信号连接器的第一部分(162)设置在所述冷却液体通道中，所述终端模块(100)适用于为信号连接器提供保护装置，以用于保护信号连接器避免由于周围的冷却流体和/或由于周围的高能量场而退化、损坏或者受到在终端模块(100)和磁棒(220)之间传输的功率信号和/或数据信号的干扰。
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