[发明专利]使用红外探测的用于处理系统的原位基板探测在审
| 申请号： | 201380009253.9 | 申请日： | 2013-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN104272057A | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 本杰明·米妮蓉;戴尔·罗伯茨;戴维·伯杰;威廉·洛根 | 申请（专利权）人： | 第一太阳能有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩芳 |
| 地址： | 美国俄亥俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 红外探测被用于监测在气相传输沉积处理室内的温度。当基板经过红外探测器时发生的温度的改变被探测并被用于精确地定位基板在室内的位置。还可实现基板的位置校正。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 红外 探测 用于 处理 系统 原位 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：使用红外探测器监测在基板处理室的一部分内的温度；凭借基板的通过来确定何时发生温度的改变；以及通过所述的确定的温度的改变来识别基板在处理室内的位置。
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