[发明专利]半导体工艺控制系统和半导体处理控制系统有效
| 申请号： | 201380012269.5 | 申请日： | 2013-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN104160383B | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 罗纳德·维恩·斯肖尔;马克·罗杰·科温顺;苏雷什·库马拉斯瓦米;阿米塔巴·普里 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G06F13/14 | 分类号： | G06F13/14;G06F9/44 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施例涉及使用非旧有控制器执行旧有半导体应用程序的系统及方法。在一些实施例中，硬件抽象层及/或模仿器可用于提供非旧有操作系统与包括旧有应用程序的旧有部件之间的通信。在一些实施例中，多种方法及/或装置可用于模仿及/或翻译旧有部件与非旧有部件之间的通信。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 旧有 硬件 软件 增强 重新 主机 代管 能力 | ||
【主权项】：
一种半导体工艺控制系统，包含：第一操作系统；旧有应用程序模块，所述旧有应用程序模块被开发以与旧有半导体工艺控制系统协同操作，所述旧有半导体工艺控制系统被配置以执行不同于所述第一操作系统的第二操作系统，其中所述旧有应用程序模块经配置以与至少一个半导体处理腔室建立接口，且包含至少一个半导体处理应用程序；及硬件抽象模块，所述硬件抽象模块经配置以提供所述第一操作系统与所述旧有应用程序模块之间的通信，且经配置以与至少一个半导体处理腔室建立接口，其中所述硬件抽象模块被配置以逐个寄存器的方式来模仿所述旧有半导体工艺控制系统，以使得所述至少一个半导体处理应用程序能够在所述半导体工艺控制系统上执行，而无需改变所述至少一个半导体处理应用程序的源代码。
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