[发明专利]三维形状测量装置的高度测量方法

摘要

本发明的三维形状测量装置的高度测量方法，包括：从多个第一照明装置及多个第二照明装置向测量对象物分别照射具有第一等值波长的第一网格图案光及具有第二等值波长的第二网格图案光，来获得与第一网格图案光相对应的第一图案图像及与第二网格图案光相对应的第二图案图像的步骤，上述多个第二照明装置以与多个第一照明装置交互的方式配置，上述第二等值波长不同于第一等值波长；对由在多个第一照明装置及多个第二照明装置中互相相邻的多个第一照明装置及多个第二照明装置获得的多个第一图案图像及多个第二图案图像进行组合来生成多个组合图案图像的步骤；算出测量对象物的多个高度的步骤，上述测量对象物的多个高度基于上述多个组合图案图像的组合等值波长；以及利用算出的测量对象物的多个高度来设定测量对象物的代表高度的步骤。由此可测量出超过可测量高度的测量对象物的高度，并可获得更加准确、可靠的测量对象物的高度。

主权项

一种三维形状测量装置的高度测量方法，其中，包括：从多个第一照明装置及多个第二照明装置向测量对象物分别照射具有第一等值波长的第一网格图案光及具有第二等值波长的第二网格图案光，来获得与上述第一网格图案光相对应的第一图案图像及与上述第二网格图案光相对应的第二图案图像的步骤，上述多个第二照明装置以与上述多个第一照明装置交互的方式配置，上述第二等值波长不同于上述第一等值波长；相互组合多个第一图案图像及多个第二图案图像来生成组合图案图像的步骤，上述多个第一图案图像及多个第二图案图像借助上述多个第一照明装置及多个第二照明装置中相邻的多个第一照明装置及多个第二照明装置而获得；算出上述测量对象物的多个高度的步骤，上述测量对象物的多个高度基于上述多个组合图案图像的组合等值波长；以及利用算出的上述测量对象物的多个高度来设定上述测量对象物的代表高度的步骤。