[发明专利]制造MEMS微镜组件的方法有效
| 申请号： | 201380013164.1 | 申请日： | 2013-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN104145203B | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | F.克赫查纳;N.阿贝勒 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81C3/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 佘鹏,傅永霄 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本发明，提供一种制造MEMS微镜组件(250)的方法，该方法包括将PCB板(205)安装到金属板(206)上、将MEMS装置(240)安装到PCB板(205)上的步骤，其中该MEMS装置(240)包括MEMS管芯(241)和磁体(230)。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 mems 组件 方法 | ||
【主权项】：
一种制造MEMS微镜组件（250）的方法，所述方法包括如下步骤：将PCB板（205）安装到金属板（206）上；将MEMS装置（240）安装到所述PCB板（205）上，其中所述MEMS装置（240）包括MEMS管芯（241）和磁体（231）;将对准掩模安装到所述PCB板上，其中所述对准掩模包括网格；在将一个或多个MEMS装置安装到所述PCB板上时使用所述对准掩模的网格将所述一个或多个MEMS装置定位到所述PCB板上;其中使用所述对准掩模的网格将所述一个或多个MEMS装置定位到所述PCB板上的步骤包括将单个MEMS装置定位在所述网格中限定的一个或多个开孔中、以及将所述一个或多个MEMS装置布置成使得所述一个或多个MEMS装置的至少第一侧面和第二侧面与所述网格接触。
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