[发明专利]在柔性衬底上形成光伏电池的系统

摘要

在柔性衬底上沉积薄膜光伏电池的沉积系统包括与所述罩壳外部的环境流体地隔离的罩壳，以及在罩壳中的多个沉积室。所述多个沉积室中的至少一个沉积室包含磁控溅射装置，其将一种或多种靶材的物质流引向布置在所述多个沉积室的至少一个沉积室中的所述柔性衬底的一部分。所述罩壳中的衬底释放辊提供柔性衬底，所述柔性衬底被引导通过所述多个沉积室的每一个到达罩壳中的衬底卷取辊。所述罩壳中的至少一个导辊被配置成将所述柔性衬底引向或引出所述多个沉积室中的给定沉积室。

主权项

用于在柔性衬底上沉积薄膜光伏电池的沉积系统，所述沉积系统包括：a)罩壳，所述罩壳包含与所述罩壳外部的环境流体地隔离的流体空间；b)在所述流体空间中的多个沉积室，其中所述多个沉积室中的至少一个沉积室包含磁控溅射装置，其将一种或多种靶材的物质流引向所述柔性衬底的布置在所述多个沉积室的所述至少一个沉积室中的部分上；b1)其中每个所述包含磁控溅射装置的沉积室包括所述柔性衬底通过的开口和安排在所述开口处的可调节的传导限制器，以在所述衬底和所述传导限制器之间形成间隙；c)在所述罩壳中的衬底释放辊和衬底卷取辊，其中所述衬底释放辊提供的柔性衬底被引导通过所述多个沉积室的每一个到达所述衬底卷取辊；和d)在所述罩壳中的至少一个导辊，其中所述导辊被配置成将所述柔性衬底引向或引出所述多个沉积室中的给定沉积室；并且其中所述至少一个沉积室包含磁控溅射装置，所述磁控溅射装置包含：与平面磁控管相邻的可旋转磁控管；和一个或多个在所述可旋转磁控管和所述平面磁控管之间形成子腔室的屏，其中所述平面磁控管被配置成包含具有第一材料的液体靶材并向所述可旋转磁控管提供具有所述第一材料的物质流，和其中所述可旋转磁控管被配置成相对于所述平面磁控管旋转具有第二材料的固体靶材，并向所述柔性衬底提供具有所述第一和第二材料的物质流。