[发明专利]真空蒸镀源加热系统和真空蒸镀系统有效
| 申请号： | 201380014110.7 | 申请日： | 2013-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN104302806A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | J·马蒂亚松;M·克辛格;F·克劳泽;T·阿尔格伦;S·施泰因贝格 | 申请（专利权）人： | 北京精诚铂阳光电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/24;H01R4/26 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 周亚荣;安翔 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空蒸镀源加热系统并且涉及具有该加热系统的真空蒸镀系统。所述真空蒸镀源加热系统能够安装到真空蒸镀系统中并且包括：设计用于加热蒸镀源的加热元件(1)，与加热元件电连接的用于向加热元件(1)提供电能的电源供应元件(2)；将电源供应元件(2)电连接到加热元件的连接件(3)，从而使电源供应元件以弹性的方式机械安装到连接件(3)，并且由此使得连接件包括由弹性的碳材料制成的弹簧元件(31)。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 蒸镀源 加热 系统 | ||
【主权项】：
真空蒸镀源加热系统，安装在真空蒸镀系统中并且包括：‑设计用于加热蒸镀源的加热元件(1)，‑与所述加热元件电连接并用于向加热元件(1)提供电能的电源供应元件(2)；‑将电源供应元件(2)电连接到所述加热元件的连接件(3)，据此所述电源供应元件以弹性的方式机械安装至连接件(3)，并且据此所述连接件包括由弹性碳材料制成的弹簧元件(31)。
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