[发明专利]生产设备和生产方法有效
| 申请号： | 201380014696.7 | 申请日： | 2013-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN104203433A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | I·G·德弗里斯;H·A·J·M·安德生;A·朗根 | 申请（专利权）人： | 荷兰应用自然科学研究组织TNO |
| 主分类号： | B05D7/04 | 分类号： | B05D7/04;C23C14/56;B05C9/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 韦东 |
| 地址： | 荷兰代*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 提供生产设备用于在箔(FO)上生产产品。该生产设备包括有洁净室形成的沉积区(10)，其中排列至少第一和第二沉积设备(21，22)用于在箔上沉积一层材料。生产设备还包括至少一个加工设备(31)用于加工所述沉积的层，所述加工设备排列在所述沉积区以外并且包括具有远离所述沉积区、朝向转向设备(41)的第一路径(31a)和从所述转向设备回到所述沉积区的第二路径(31b)的加工轨迹。 | ||
| 搜索关键词： | 生产 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于在箔(FO)上生产产品的生产设备，所述生产设备包括沉积区(10)，其中排列第一沉积设备(21)用于在所述箔上沉积材料层，所述生产设备还包括至少一个加工设备(31)用于加工所述沉积的层，所述加工设备排列在所述沉积区以外并且包括具有远离所述沉积区、朝向转向设备(41)的第一方向上的第一路径(31a)和从所述转向设备回到所述沉积区的第二路径(31b)的加工轨迹，所述生产设备还包括再导向设备(51a，51b)用于在所述沉积区内对所述箔进行再导向，其中所述沉积区(10)是具有出口(11a)和入口(11b)的洁净室，其中所述第一路径(31a)导向远离所述出口(11a)的第一方向并且带回所述入口(11b)，其特征在于，在所述沉积区至少排列第二沉积设备(22)，所述箔被引导沿着所述第一和所述至少第二沉积设备通过所述加工设备。
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