[发明专利]微镜装置及微镜装置的制造方法有效
| 申请号： | 201380015580.5 | 申请日： | 2013-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN104204899B | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 乌尔里希·霍夫曼;汉斯-约阿希姆·昆策尔;约阿希姆·雅内斯;伯恩·詹森 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 德国慕*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有至少一个镜板的微镜装置，所述镜板通过一个或多个弹簧元件被悬挂在芯片框中以进行震动。在所述芯片框和所述一个或多个弹簧元件中设置有至少一个具有用于引导冷却剂的入口和出口的微镜，或者在所述芯片框，所述一个或多个弹簧元件以及所述至少一个镜板中设置有至少一个该微镜。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种具有至少一个镜板(2)的微镜装置，所述镜板(2)通过一个或多个弹簧元件(3)振荡地悬挂在芯片框(4)中，其特征在于，至少一个气密式密封微通道(5)，设置于所述芯片框(4)和所述一个或多个弹簧元件(3)中，或者设置于所述芯片框(4)、所述一个或多个弹簧元件(3)和所述至少一个镜板(2)中，所述微通道(5)设置有入口(6)和出口(7)，并用于引入流动冷却剂。
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