[发明专利]具有馈通结构的基板支撑件

摘要

在此提供用于提供电流的设备与利用此设备的基板支撑件。在一些实施例中，一种馈通结构可包括主体，所述主体具有界定一或更多个开口的壁，所述一或更多个开口设置成从第一端穿过所述主体至第二端；一或更多个第一导体与一或更多个第二导体，每个第一导体和第二导体设置在所述壁中而从所述第一端至所述第二端；及多个导电网筛，所述多个导电网筛设置在所述壁中，至少一个导电网筛围绕所述壁的第一区域，所述壁的所述第一区域包括所述一或更多个第一导体，且至少一个导电网筛围绕所述壁的第二区域，所述壁的所述第二区域包括所述一或更多个第二导体，其中多个导电网筛使所述第一区域和所述第二区域与设置在所述第一区域和所述第二区域外面的分别的第一外部电磁场和第二外部电磁场分别实质上电气绝缘。

主权项

一种基板支撑件，包含：支撑构件，所述支撑构件具有基板处理表面以支撑基板于所述基板处理表面上；多个电气元件，所述多个电气元件设置在所述基板支撑件中以当所述基板设置在所述基板处理表面上时至少监测或至少处理所述基板；主体，所述主体具有界定一或更多个开口的壁，所述一或更多个开口设置在面对所述支撑构件的所述主体的第一端与所述主体的相对第二端之间；一或更多个第一导体，所述一或更多个第一导体设置在所述壁中而从所述第一端至所述第二端，以提供第一电气信号至所述多个电气元件的至少第一电气元件；一或更多个第二导体，所述一或更多个第二导体设置在所述壁中而从所述第一端至所述第二端，以提供第二电气信号至所述多个电气元件的至少第二电气元件；及多个导电网筛，所述多个导电网筛设置在所述壁中且在所述一或更多个开口周围。