[发明专利]激光光源装置的制造方法

摘要

一种激光光源装置，其具有通过厚度方向的台阶具有第一平面和形成于比第一平面低的位置上的第二平面的硅基板；形成于第一平面上、具有由Au构成的微凸块结构的第一接合部；形成于第二平面上、具有由Au构成的微凸块结构的第二接合部；通过表面活性化接合技术接合于第一接合部并出射激光的第一光学元件及第二光学元件；通过该技术接合于第二接合部并将来自第一光学元件的激光向合波器反射的反射构件；以及合波器，所述合波器通过该技术接合于第二接合部，直接接收来自第二光学元件的激光，对来自第一光学元件的激光及来自第二光学元件的激光进行合波，通过使第一光学元件及反射构件之间的距离和第二光学元件及合波器之间的距离不同，将从第一光学元件至合波器的光路长度和从第二光学元件至合波器的光路长度设定为相等。

主权项

一种激光光源装置的制造方法，其特征在于，具有以下工序：在硅基板上通过厚度方向的台阶形成第一平面和位于比所述第一平面低的位置上的第二平面；在所述第一平面上形成具有由Au构成的微凸块结构的第一接合部；在所述第二平面上形成具有由Au构成的微凸块结构的第二接合部；通过表面活性化接合技术将出射激光的第一光学元件及第二光学元件接合于所述第一接合部；通过表面活性化接合技术将合波器接合于所述第二接合部，所述合波器直接接收来自所述第二光学元件的激光，并对来自所述第一光学元件的激光及来自所述第二光学元件的激光进行合波；对所述第一光学元件、所述第二光学元件以及所述合波器进行接合后，使激光从所述第一光学元件以及所述第二光学元件出射，调整反射构件的位置，以使来自所述第一光学元件的激光的光路与来自所述第二光学元件的激光的光路重合，所述反射构件将来自所述第一光学元件的激光向所述合波器反射；以及通过表面活性化接合技术，在经调整的位置上将所述反射构件接合于所述第二接合部，通过使所述第一光学元件及所述反射构件之间的距离和所述第二光学元件及所述合波器之间的距离不同，来将从所述第一光学元件至所述合波器的光路长度和从所述第二光学元件至所述合波器的光路长度设定为相等。