[发明专利]MEMS扫描镜视场提供方法和装置有效
| 申请号： | 201380017280.0 | 申请日： | 2013-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN104303091B | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | B·弗里德曼;A·希斯伯格 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B7/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 谢攀,姜甜 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例提供用于包括MEMS扫描镜的光电子组件的技术和配置。在一个实施例中，该MEMS扫描镜可包括微尺度镜，其被配置成绕所述镜的弦轴可旋转以使入射光束偏转进入光电子组件的出射窗口；以及支撑结构，其被配置成主控所述镜以在镜表面和出射窗口之间提供光输送场，以使得经由所提供的光输送场到出射窗口的偏转光束的路径是无阻碍的。可以描述和/或要求保护其它实施例。 | ||
| 搜索关键词： | mems 扫描 视场 提供 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于提供微机电系统（MEMS）扫描镜无阻碍视场的装置，包括：与激光设备相关联的光电子组件，其中，所述组件包括具有视场的MEMS扫描镜，并且其中所述MEMS扫描镜包括：基板，其至少具有顶层；以及具有大体上椭圆形或圆形形状的微尺度扫描镜，其嵌入在基板的顶层中，其中，所述微尺度扫描镜绕所述微尺度扫描镜的弦轴可旋转以使来自激光设备的光束偏转，并且其中，所述顶层包括在一侧的切口，其被定尺寸以减少所述微尺度扫描镜的阻碍以扩大视场，其中所述切口延伸到所述顶层的边缘。
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