[发明专利]静压气体轴承及使用该静压气体轴承的直动引导装置

摘要

静压气体轴承(1)包括：合成树脂制的轴承体(2)；轴承基体(4)，该轴承基体(4)通过紧固构件(3)一体地与轴承体(2)接合；环状密封构件(5)，该环状密封构件(5)安装于轴承体(2)，以防止压缩空气从一体地接合后的轴承体(2)及轴承基体(4)之间的间隙漏出；以及自激振动衰减机构(6)。

主权项

一种静压气体轴承，包括：合成树脂制的轴承体，该轴承体具有圆环状凹部、环状凹槽及作为自成节流孔的多个空气吹出孔，其中，上述圆环状凹部在上述轴承体的一个面上开口且形成于该一个面，上述环状凹槽在上述轴承体的另一个面上开口且形成于该另一个面，上述多个空气吹出孔的一端开口于环状凹槽，另一端在圆环状凹部中开口；轴承基体，该轴承基体包括供气通路，该供气通路的一端在上述轴承基体的与上述轴承体的一个面相对的一个面上开口，且在该一端处与圆环状凹部连通，朝上述供气通路的另一端供给气体，并且，上述轴承基体与上述轴承体一体地结合；以及自激振动衰减机构，该自激振动衰减机构具有空洞，该空洞的一端在轴承体的另一个面的中央部处开口且该空洞延伸到轴承体的一个面。