[发明专利]半导体器件在审
申请号: | 201380017760.7 | 申请日: | 2013-02-26 |
公开(公告)号: | CN104205344A | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
发明(设计)人: | 田中梨菜;古川彰彦;今泉昌之;阿部雄次 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L29/861 | 分类号: | H01L29/861;H01L29/47;H01L29/868;H01L29/872 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 金光华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在使用了宽能带隙半导体的JBS二极管中,宽能带隙半导体的内置电位大,所以有时pn二极管部不易导通,由此有时无法充分确保浪涌电流抗性。为了解决这个问题,在宽能带隙JBS二极管中,在从肖特基电极离开了的部位形成pn二极管的pn结,另外在从肖特基电极离开了的部位将阱区域的宽度形成得较窄。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 | ||
【主权项】:
一种半导体器件,其特征在于,具备:第1导电类型的宽能带隙半导体基板;第1导电类型的漂移层,形成于所述宽能带隙半导体基板的第1主面,并由宽能带隙半导体构成;多个第2导电类型的第1阱区域,在所述漂移层的表层部中,以规定的间隔相互邻接地形成;第2阱区域,在所述第1阱区域的所述半导体基板侧与所述第1阱区域邻接,以比所述第1阱区域低的第2导电类型杂质浓度、且比所述第1阱区域小的宽度来形成;肖特基电极,形成于所述漂移层以及所述第1杂质区域的表面上,与所述漂移层进行肖特基连接;以及欧姆电极,与所述半导体基板的所述第1主面的相反侧的第2主面相接地形成。
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