[发明专利]光学基板、半导体发光元件以及半导体发光元件的制造方法

摘要

光学基板(1)在表面设置有凹凸结构(12)，所述凹凸结构(12)包括独立的多个凸部(131～134)以及设置于各凸部(131～134)之间的凹部(14)。凹凸结构(12)的相邻的凸部(131～134)间的平均间隔Pave满足50nm≤Pave≤1500nm，且具有相对于平均凸部高度Have满足0.6Have≥hn≥0的凸部高度hn的凸部(133)以满足1/10000≤Z≤1/5的概率Z存在。若将光学基板(1)用于半导体发光元件中的话，通过使半导体层中的位错分散化并降低位错密度，能够改善内量子效率IQE，且利用光散射消除波导模式来提高光提取效率LEE，提高半导体发光元件的发光效率。

主权项

一种光学基板，其具备基板和在所述基板的表面的一部分或整个面上形成的凹凸结构，其特征在于，所述凹凸结构中至少一部分的区域具有被相互分离配置的多个凸部，且所述多个凸部包括具有第一高度的多个第一凸部和具有比所述第一高度低的第二高度的多个第二凸部，所述第一凸部不夹着所述第二凸部地与至少一个其他的第一凸部相邻，所述相邻的所述第一凸部间的平均间隔Pave满足下述式(1)，式(1)50nm≤Pave≤1500nm并且，所述第二凸部具有作为所述第二高度的凸部高度hn，该凸部高度hn相对于所述凹凸结构的平均凸部高度Have满足下述式(2)的关系的凸部高度hn，且所述第二凸部在所述凹凸结构中以满足下述式(3)的概率Z而存在：式(2)0.6Have≥hn≥0式(3)1/10000≤Z≤1/5。