[发明专利]用于微机电的测量变换器的膜片装置和用于制造膜片装置的方法

摘要

本发明涉及一种微机电的膜片装置，所述微机电的膜片装置具有基片，所述基片在表面上具有多个空隙；能够导电的第一电极层，所述第一电极层布置在所述基片的表面上并且所示第一电极层具有多个与所述空隙相一致的第一凹部；以及能够沿着与所述基片的有效的表面垂直的方向偏移的并且能够导电的膜片层，所述膜片层布置在所述第一电极层的上方并且以第一间距值与所述第一电极层隔开。

主权项

微机电的膜片装置（100、200、300），其具有：‑ 基片（4），所述基片在表面上具有多个空隙（4a）；‑ 能够导电的第一电极层（1），所述第一电极层布置在所述基片（4）的表面上并且所述第一电极层具有多个与所述基片（4）的空隙（4a）相一致的第一凹部（1a）；以及‑ 能够沿着与所述基片（4）的表面垂直的方向偏移的并且能够导电的膜片层（2、7），所述膜片层布置在所述第一电极层（1）的上方并且以第一间距值（xG）与所述第一电极层（1）隔开；其特征在于，能够导电的第二电极层（3），所述第二电极层布置在所述膜片层（2、7）的上方，并且所述第二电极层具有多个构造在所述第一凹部（1a）上方的第三凹部（3a），其中所述膜片层（2）具有多个构造在所述第一凹部（1a）上方的第二凹部（2a），并且其中所述第二凹部（2a）的外壁（2b）相对于所述第三凹部（3a）的外壁在平行于所述基片（4）的表面的情况下具有第二间距值（yG），其中所述第一凹部（1a）、第二凹部（2a）和第三凹部（3a）彼此构造成，在所述膜片层（2）垂直于所述基片（4）的表面偏移时，使所述第二凹部（2a）无接触地嵌入到所述第一凹部（1a）和第三凹部（3a）中。