[发明专利]制造设备的监视装置以及监视方法有效
申请号: | 201380022825.7 | 申请日: | 2013-07-02 |
公开(公告)号: | CN104272431B | 公开(公告)日: | 2017-03-08 |
发明(设计)人: | 山地要;鱼山和哉;森田康之;宫武宏明 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;G05B19/418 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 李洋,舒艳君 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种通过服务器和能够与该服务器通信的移动终端来监视配设在工厂内的制造设备的制造设备的监视装置,在移动终端的拍摄元件朝向制造设备时,基于通过位置信息获取单元获取到的位置信息、通过方向检测单元检测到的方向信息、拍摄元件的视角以及布局信息,来确定制造设备,并从存储单元提取确定出的制造设备的制造设备信息,并在显示单元显示提取出的制造设备信息的至少一部分。 | ||
搜索关键词: | 制造 设备 监视 装置 以及 方法 | ||
【主权项】:
一种制造设备的监视装置,通过服务器和能够与该服务器通信的移动终端来监视配设在工厂内的包含至少多个制造装置的制造设备,所述制造设备的监视装置的特征在于,所述移动终端具有:位置信息获取单元,其获取与该移动终端的当前的位置有关的位置信息;拍摄元件;方向检测单元,其检测所述拍摄元件所朝向的方向;以及显示单元,所述服务器具有存储单元,该存储单元存储与所述工厂内的所述制造设备的布局有关的布局信息、和与所述制造设备有关的制造设备信息,在所述拍摄元件朝向所述制造设备时,所述服务器基于通过所述位置信息获取单元获取到的位置信息、通过所述方向检测单元检测到的方向信息、所述拍摄元件的视角以及所述布局信息,来确定所述拍摄元件所朝向的所述制造设备,从所述存储单元提取确定出的所述制造设备的制造设备信息,在所述显示单元显示提取出的所述制造设备信息的至少一部分。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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