[发明专利]负型感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、及半导体装置有效
| 申请号： | 201380022903.3 | 申请日： | 2013-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN104285184B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 田村信史;平田龙也;吉田雅彦 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;C08G73/10;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明提供一种负型感光性树脂组合物，其含有(A)具有下述通式(1)：{式中，R1、R2、X1和Y1如说明书中所定义}所示结构的聚酰亚胺前体：100质量份和(B)光聚合引发剂：0.1质量份～20质量份。 |
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| 搜索关键词： | 质量份 负型感光性树脂组合物 固化浮雕图案 光聚合引发剂 聚酰亚胺前体 半导体装置 式中 制造 | ||
【主权项】：
1.一种负型感光性树脂组合物，其含有(A)具有下述通式(1)所示结构的聚酰亚胺前体：100质量份和(B)光聚合引发剂：0.1质量份～20质量份，![]()
通式(1)中，X1是碳原子数为6～40的四价有机基团，Y1是碳原子数为6～40的二价有机基团，n是2～150的整数，R1和R2各自独立地是氢原子、或者下述通式(2)或(3)所示的一价有机基团，并且所述通式(2)所示的一价有机基团和所述通式(3)所示的一价有机基团的总计与全部R1和R2的比率为80摩尔％以上，且所述通式(3)所示的一价有机基团与全部R1和R2的比率为20摩尔％～80摩尔％，![]()
通式(2)中，R3、R4和R5各自独立地是氢原子或碳原子数为1～3的一价有机基团，并且m是2～10的整数，‑R6 (3)通式(3)中，R6是选自可以具有杂原子的碳原子数为5～30的脂肪族基团、或碳原子数为6～30的芳香族基团中的一价基团，其中，所述通式(3)所示的一价有机基团不包含所述通式(2)所示一价有机基团。
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