[发明专利]滚筒模具的制作装置及制作方法

摘要

在滚筒模具的表面上针对每一规定区域向圆周方向曝光掩模图案的所谓的步进与重复方法中，可提高掩模图案间的间隔精度，从而可抑制在掩模图案旋转一周时接缝偏移。为实现该目的，本发明所涉及的滚筒模具制作装置包括掩模(3)，其具有使被照射物的一部分透过的功能；旋转驱动装置，其使滚筒模具(100)绕旋转轴旋转；旋转量检测传感器，其检测旋转量；控制装置，其发送用于调整被照射物在滚筒模具(100)的抗蚀剂上的圆周方向描画位置的控制信号；以及致动器(7)，其使掩模(3)直线状移动，在使滚筒模具(100)停止旋转的状态下将被照射物照射至规定范围，使该滚筒模具(100)旋转规定量并停止，并调整将被照射物照射至另一规定范围时的圆周方向描画位置。

主权项

一种滚筒模具的制作装置，其是制作用于转印图案的滚筒状的压模即滚筒模具的装置，所述滚筒模具的制作装置的特征在于，包括：照射装置，对于涂布有抗蚀剂的所述滚筒模具，所述照射装置在使该滚筒模具停止旋转的状态下将被照射物照射至规定范围；掩模，其具有使自该照射装置照射的被照射物的一部分透过的功能；旋转驱动装置，其使所述滚筒模具绕旋转轴旋转；旋转量检测传感器，其在利用该旋转驱动装置使所述滚筒模具旋转时，检测所述滚筒模具的旋转量，并测定所述旋转驱动装置的角度进给量的误差作为检测信号；控制装置，其接收该旋转量检测传感器的检测信号，且发送用于调整所述被照射物被照射至所述滚筒模具的所述抗蚀剂上时的圆周方向照射位置的控制信号；以及致动器，其基于来自该控制装置的控制信号而使所述掩模直线状移动，在使所述滚筒模具停止旋转的状态下将所述被照射物照射至规定范围，使该滚筒模具旋转规定量并停止，并调整将所述被照射物照射至另一规定范围时的圆周方向照射位置。