[发明专利]用于排空腔室的泵装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于排空腔室(42)的方法，其中，由增压泵(46)和下游前置泵(47)构成的泵装置连接到腔室(42)。在该方法中，使增压泵(46)加速，来自室(42)的气体被引入到增压泵(46)中，使得存在从增加压泵(46)提取的过剩功率，该过剩功率超过由增压泵(46)的驱动器(17)提供的功率。将气体输送至增压泵(46)的出口。只要增压泵(46)的出口压力处于预定阈值之上，气体就通过旁通阀(49)排放，并且当增压泵(46)的出口压力已经落入阈值以下时，气体向前传导到前置泵(47)。由增压泵(46)供应的气体借助于前置泵(47)被压缩。本发明还涉及一种用于执行该方法的泵装置。借助于本发明，能够将前置泵(47)设计成用于比增压泵(46)小的质量流量。

主权项

一种用于排空腔室(42)的方法，其中由增压泵(46)和下游前置泵(47)构成的泵装置被连接到腔室(42)，所述方法具有下列步骤：a.使所述增压泵(46)在所述增压泵(46)的进口关闭的情况下加速；b.将来自腔室(42)的气体引入到所述增压泵(46)中，使得从所述增压泵(46)，临时地提取超过由所述增压泵(46)的驱动器(17)提供的功率的过剩功率；并且c.将所述气体输送至所述增压泵(46)的出口，其中，i.只要所述增压泵(46)的出口压力位于预定的阈值之上，则所述气体通过旁通阀(49)排放；ii.当所述增压泵(46)的出口压力已经低于所述阈值时，则所述气体被向前传导到所述前置泵(47)；d.借助于所述前置泵(47)压缩从所述增压泵(46)供应的气体。