[发明专利]导电膜形成方法与烧结助剂有效

专利信息
申请号: 201380025632.7 申请日: 2013-02-28
公开(公告)号: CN104303242B 公开(公告)日: 2016-11-30
发明(设计)人: 川户祐一;宫本一诚;前田祐介;工藤富雄 申请(专利权)人: 日本石原化学株式会社
主分类号: H01B13/00 分类号: H01B13/00;H05K3/12
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 吴小瑛
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 在使用光烧结的导电膜形成方法中,容易地形成具有低电阻的导电膜。公开的是其中使用光烧结形成导电膜的导电膜形成方法,其包括以下步骤:在基板1上形成由铜颗粒分散体制成的液体膜2,将该液体膜2干燥以形成铜颗粒层3,对该铜颗粒层3施以光烧结以形成导电膜4,将烧结助剂5粘接到该导电膜4上,并对粘接有烧结助剂5的导电膜4进一步施以光烧结。所述烧结助剂5是从金属铜中除去氧化铜的化合物。由此,该烧结助剂5除去了导电膜4中铜颗粒21的表面氧化物膜。
搜索关键词: 导电 形成 方法 烧结 助剂
【主权项】:
一种导电膜形成方法,其中使用光烧结形成导电膜,包括以下步骤:在基板上形成由铜颗粒分散体制成的液体膜,将所述液体膜干燥以形成铜颗粒层,对所述铜颗粒层施以光烧结以形成导电膜,将烧结助剂粘接到所述导电膜,和对粘接有烧结助剂的导电膜进一步施以光烧结,其中所述烧结助剂是从金属铜中除去氧化铜的化合物。
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