[发明专利]流量测量装置

摘要

本发明的流量测量装置具备流量信号检测部，其检测在流路(1)中流动的被测定流体的流量信号；流量运算部(11)，其根据由流量信号检测部检测出的流量信号计算流量；以及振荡电路(21)，其产生基准时钟。还具备温度运算部(22)，其根据振荡电路(21)的由温度变化引起的频率变化来求出温度；流量校正部(23)，其根据由温度运算部(22)计算出的温度求出期望温度下的偏移流量来对由流量运算部(11)计算出的流量进行校正。由此，能够提高流量测量的精度。

主权项

一种流量测量装置，具备：流量信号检测部，其检测在流路中流动的被测定流体的流量信号；流量运算部，其根据由上述流量信号检测部检测出的上述流量信号来计算流量；振荡电路，其通过构成在与实现上述流量运算部的电路相同的半导体上的环形振荡器，产生基准时钟；温度运算部，其根据上述振荡电路的由温度变化引起的频率变化来求出温度；以及流量校正部，其根据由上述温度运算部计算出的温度与偏移流量之间的关系求出期望温度下的偏移流量来对由上述流量运算部计算出的上述流量进行校正。