[发明专利]用于提供气体混合物的方法和设备

摘要

提供了一种气体混合器组件，其包括用于供应第一气体的第一气体源；用于供应不同于所述第一气体的第二气体的第二气体源；用于调整第一气体的流量的第一阀；用于调整第二气体的流量的第二阀；混合器，其位于第一阀和第二阀的下游，并且布置成在使用中混合第一气体和第二气体，以提供混合气体；布置成测量混合气体的平均分子量的量计，其包括与混合气体接触的高频率平面压电晶体振荡器，以及可运行来确定大气压力的传感器；以及控制器，其可运行来响应于测量的所述混合气体的平均分子量而控制所述第一阀和第二阀中的至少一个，以便控制所述混合气体中的第一气体和第二气体的相对比例。

主权项

一种以相对比例提供气体的混合物的方法，所述混合物至少包括第一气体和不同于所述第一气体的第二气体，所述方法包括：a)以第一流率从第一气体源供应所述第一气体；b)以第二流率从第二气体源供应所述第二气体；c)混合所述第一气体和所述第二气体，以形成混合气体；以及d)将所述混合气体供应到处于大约大气压力的出口，其中，所述方法进一步包括：e)测量与所述混合气体接触的高频率平面压电晶体振荡器的共振频率；f)测量大气压力；g)根据所述测量的共振频率来确定所述混合气体的密度；h)根据所述密度、大气压力测量值和所述气体的确定或预定的温度而确定所述混合气体的平均分子量；以及i)响应于所述确定的平均分子量而自动地控制所述第一流率和所述第二流率中的一个，以控制所述混合气体中的所述第一气体和所述第二气体的相对比例。