[发明专利]物理量传感器

摘要

在物理量传感器中，关于同相模式的共振频率f1和比其大的同相吸收模式的共振频率f3，设为同相吸收模式的共振频率f3与同相模式的共振频率f1的n倍的值的差的绝对值Δf3比对同相模式的共振频率f1乘以避免差D后的值大的关系(Δf3>f1×D)，并至少使避免差D比0％大。由此，能够避免由共振干涉带来的振动激励成为最大位移。通过进行设定为满足这样的关系的同相模式的共振频率f1和同相吸收模式的共振频率f3的设计，使由共振干涉带来的振动激励降低。因而，能够不使用防振部件且不导致传感器灵敏度的降低，而使耐冲击性能提高。

主权项

一种物理量传感器，其特征在于，具有：基板(10)；驱动平衡块，经由第1弹簧(43b)支承于上述基板；检测平衡块(35、36)，经由第2弹簧(41)支承在上述驱动平衡块上，具备检测用可动电极(35b、36b)；以及检测用固定部(24、25)，具备相对于上述检测用可动电极对置配置的检测用固定电极(24b、25b)；在使上述驱动平衡块驱动振动时施加物理量的情况下，随着该物理量的施加而上述检测用可动电极与上述检测平衡块一起位移，从而基于上述检测用可动电极与上述检测用固定电极之间的间隔变化进行上述物理量的检测；当设随着物理量的施加而上述驱动平衡块及上述检测平衡块向同方向移动的同相模式的共振频率为f1、设上述驱动平衡块及上述检测平衡块向反方向移动的同相吸收模式的共振频率为f3、设n为整数时，上述同相吸收模式的共振频率f3比上述同相模式的共振频率f1大，使绝对值Δf3比对上述同相模式的共振频率f1乘以避免差D而得到的值大的关系成立，并且使上述避免差D比0％大，该绝对值Δf3是上述同相吸收模式的共振频率f3与上述同相模式的共振频率f1的n倍的值的差的绝对值，该避免差D表示使该绝对值Δf3从上述同相模式的共振频率f1偏差的程度，其中，f3≠n·f1。