[发明专利]基座有效

专利信息
申请号: 201380028573.9 申请日: 2013-06-03
公开(公告)号: CN104380451B 公开(公告)日: 2017-06-06
发明(设计)人: T·科恩迈尔;M·维斯基兴;S·施蒂尔 申请(专利权)人: KGT石墨科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/673
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司11127 代理人: 王小东
地址: 德国温*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种供保护性气体真空高温处理设备的处理室用并且由石墨或CFC制成的基座,所述基座具有隧道状设计,并且所述基座的两个端部处均能通过盖件来闭合。本发明应能够提供可自由模块化扩展的基座,该基座具有节约材料的设计,并且尤其能够提供均匀的热膨胀。这通过以下事实来实现所述基座(1)由沿着连续隧道依次对准的多个模块(2)构成,各模块(2)由管状部分(3)和固定至该管状部分的底板(4)构成,每对模块(2)之间的端面(5)以形状锁合的方式相互连接。
搜索关键词: 基座
【主权项】:
一种由石墨或碳纤维复合物制成并且用于保护性气体真空高温处理设备的处理的基座,所述基座被构造成隧道状,并且所述基座的两个相对端部中的每个端部均能被盖件闭合,所述基座(1)由多个模块(2)构成,所述多个模块沿纵向相互并排布置成连续隧道,其特征在于,所述多个模块以形状锁合和力锁合的方式相互牢固地连接,具有平坦化的管状横截面的各模块(2)均由管状部分(3)和旋拧至该管状部分的底板(4)构成,并且两个相邻模块(2)之间的端面(5)均以形状锁合的方式相互连接,相邻模块(2)的所述底板(4)在所述底板的外表面中设置有凹部(9),所述凹部(9)从一个相邻模块延伸至另一相邻模块,并且石墨连接元件(6)以形状锁合的方式齐平地接合到所述凹部(9)中,所述石墨连接元件(6)呈具有半圆形横截面的双T舌槽式连接元件的形式,并且模块(2)的所有组件均是从相同的毛坯件切割而成的。
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