[发明专利]流量传感器有效
| 申请号： | 201380029511.X | 申请日： | 2013-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN104335016B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 河野务;半泽惠二;德安升;田代忍 | 申请（专利权）人： | 日立汽车系统株式会社 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684;G01F1/692 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 张敬强,严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够抑制每个流量传感器的性能偏差且实现性能提高的技术。根据实施方式的流量传感器，通过在树脂(MR)的上表面SUR(MR)设置局部的凹部(CAV)，产生绕逆时针的涡流，由此，使与半导体芯片(CHP1)的露出的侧面碰撞的气体(空气)的前进方向不为相差90度的半导体芯片(CHP1)的上方方向，而是改变为卷绕涡的方向。因此，根据实施方式的流量传感器，能够不使流量检测部(FDU)的上方的气体(空气)的流动紊乱，能稳定且顺畅地流动，因此，能提高流量检测部(FDU)的流量检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 流量传感器 | ||
【主权项】：
一种流量传感器，具备：(a)第一芯片搭载部；以及(b)配置在上述第一芯片搭载部上的第一半导体芯片，上述第一半导体芯片具有：(b1)形成在第一半导体基板的主面上的流量检测部；以及(b2)形成在上述第一半导体基板的与上述主面相反侧的背面中、与上述流量检测部相对的区域的隔膜，该流量传感器的特征在于，在使形成在上述第一半导体芯片上的上述流量检测部露出的状态下，由包括树脂的封闭体封闭上述第一半导体芯片的一部分，在与在露出的上述流量检测部上流动的气体的前进方向并行的任意剖面中，与上述第一半导体芯片的端部接触的上述树脂的上表面比上述第一半导体芯片的上表面低，并且，在上述树脂的上表面形成凹部。
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