[发明专利]沉积系统的气体注入组件、包括这种组件的沉积系统和相关方法

摘要

遮挡式注入器包括气体注入口、内侧壁和用于引导气体流过遮挡式注入器的至少两个隆起部。隆起部中的每个从毗邻气体注入口中的孔的位置向着遮挡式注入器的气体出口延伸并且设置在内侧壁之间。沉积系统包括具有发散地延伸的内侧壁的底座、气体注入口、盖和至少两个发散地延伸的隆起部，这些隆起部用于引导气流过至少部分由底座的内侧壁和盖的底表面限定的空间的中央区域。在基板上形成材料的方法包括使前体流过此遮挡式注入器并且引导前体的一部分流过具有至少两个隆起部的遮挡式注入器的中央区域。

主权项

一种遮挡式注入器，该遮挡式注入器包括：气体注入口，该气体注入口包括主体、贯穿所述主体延伸的孔以及毗邻所述孔的后壁；内侧壁，这些内侧壁从所述后壁向着所述遮挡式注入器的气体出口延伸；以及两个隆起部，所述两个隆起部用于引导气流流过所述遮挡式注入器，所述两个隆起部均从毗邻所述孔的位置向着所述气体出口延伸，所述两个隆起部被设置在所述内侧壁之间，其中，所述内侧壁从所述后壁向着所述气体出口发散地延伸，其中，所述两个隆起部从毗邻所述孔的所述位置发散地延伸到所述气体注入口的正面，其中，所述孔、所述后壁、所述内侧壁和所述两个隆起部关于对称轴对称，并且其中，所述两个隆起部中的各隆起部居中地设置在所述内侧壁中的邻近的内侧壁和所述对称轴之间。