[发明专利]接合装置

摘要

本发明提供一种能够谋求压电元件驱动的负荷的轻量小型化，另外，能够减轻来自工件的热量对压电元件的影响的接合装置。该接合装置具有具有与接合工具(8)的中心轴相对的承受部(6c)的接合臂(5)；与接合工具(8)接触的一对毛细管保持部(9、10)；与毛细管保持部(9、10)接触并产生超声波振动的一对压电元件(11、12)；与接合臂的承受部相对配置的加压体(18)；以及由使加压体朝着接合臂的承受部移动的移动机构构成的加压机构，在使一对压电元件、一对毛细管保持部以及接合工具位于接合臂的承受部与加压体之间的状态下，移动加压体，由此将一对毛细管保持部以及接合工具保持于接合臂。

主权项

一种接合装置，其特征在于：具有：接合臂，在与接合工具的中心轴交叉的方向上延伸，并且具有与该接合工具的中心轴相对的承受部；一对毛细管保持部，夹着所述接合工具的中心轴而对称地配置，与所述接合工具接触；一对压电元件，夹着所述接合工具的中心轴而对称地配置，与所述毛细管保持部接触并产生超声波振动；振荡器，驱动所述压电元件；以及加压机构，由夹着所述接合工具的中心轴而与所述接合臂的承受部相对配置的加压体、以及使该加压体朝着所述接合臂的承受部移动的移动机构构成，在使所述一对压电元件、所述一对毛细管保持部以及所述接合工具位于所述接合臂的承受部与所述加压体之间的状态下移动该加压体，由此将所述一对毛细管保持部以及所述接合工具保持于所述接合臂，所述毛细管保持部以如下方式被安装：一个面以与所述接合工具的外周的不到半圆的面接触的方式形成弯曲形状并保持接合工具，另一个面与所述压电元件的振动面接触，其中，该振动面也称为位移面。