[发明专利]用于测量表面上的特征结构的方法、测量组件、用于制造结构的方法和指向器有效
| 申请号： | 201380030991.1 | 申请日： | 2013-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN104380138B | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | T·W·诺维科 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G01S17/06 | 分类号： | G01S17/06 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 王莉莉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于测量表面(16)上的特征结构(14A)的测量组件(12)，包括度量系统(18)、移动器组件(19)、指向器(22)和控制系统(24)。所述度量系统(18)产生测量光束(26)，并且所述移动器组件(19)选择性地调整测量光束(26)的方向。所述指向器(22)是手持型的并且产生指向器光束(22A)，所述指向器光束(22A)可以选择性地指向所述表面(16)以在所述表面(16)上形成指向器光斑(36)。此外，所述控制系统(24)控制移动器组件(19)移动测量光束(26)的方向直到测量光束(26)近似指向指向器光斑(36)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 表面上 特征 结构 方法 组件 制造 指向 | ||
【主权项】：
一种被配置为测量测量物的特征结构的测量组件，所述测量组件包括：度量系统，被配置为产生测量光束；移动器组件，被配置为选择性地移动度量系统的至少一部分以移动测量光束的方向；检测器，具有可检测区域，所述检测器被配置为标识在所述可检测区域内的所述特征结构处的指向器光束的指向器光斑的位置；以及控制系统，被配置为使用由所述检测器标识的位置的信息和所述指向器光束瞄准所述可检测区域内的所述特征结构之后发出的信号，检测所述指向器光束瞄准所述可检测区域内的所述特征结构的情况，进而之后，在检测出所述信号时，开始基于由所述检测器标识的位置来控制移动器组件移动测量光束的方向，测量所述特征结构。
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