[发明专利]用于将纯化多相二氧化碳输送至处理工具的系统

摘要

用于按需求向基体供应超临界和亚临界相的二氧化碳以产生用于去除包含在基体中的污染物的创新和改善的清洁工序的二氧化碳供应方法和系统。该供应系统的在加工清洁工序期间以特定顺序在预定时间输送蒸气，液体和超临界二氧化碳的能力产生比常规二氧化碳清洁工序改善的去除来自基体的污染物。

主权项

1.一种用于输送不同相的二氧化碳以产生用于从基体表面去除污染物的定制的清洁工序的方法，所述方法包括以下步骤：将纯气相二氧化碳引入以将室加压至低于饱和蒸气压力的第一压力；去除所述纯气相，并且随后引入处于超临界相的二氧化碳将所述室的压力从所述第一压力增加至高于所述第一压力的第二压力；将处于所述第二压力的溶剂流体引入包含所述基体的室中，所述溶剂流体包括混有助溶剂处于超临界相的二氧化碳；将污染物从所述基体表面传递至所述超临界二氧化碳相中以形成至少部分消耗的超临界相的二氧化碳；从所述室去除所述至少部分消耗的超临界二氧化碳相，并且同时将处于所述超临界相的没有助溶剂的新鲜的二氧化碳引入所述室中，以便稀释所述消耗的超临界二氧化碳并且基本阻止所述污染物沉淀在所述基体表面上；随后将处于液体相的二氧化碳引入室中；并且使所述二氧化碳液体相在所述基体表面上流动以冲刷并冲洗所述基体表面，并且从而去除所述污染物和残留地留在所述基体表面上的任何助溶剂。