[发明专利]电化学装置的微波快速热处理有效
| 申请号： | 201380032074.7 | 申请日： | 2013-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN104396081B | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 宋道英;冲·蒋;秉-圣·利奥·郭 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01M10/0585 | 分类号： | H01M10/0585;H01M4/04 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 微波辐射可应用到电化学装置，以快速热处理(RTP)(包括退火、结晶、致密化、形成等)电化学装置各层和装置堆叠，所述装置堆叠包括块体和薄膜电池和薄膜电致变色装置。制造电化学装置的方法可包含沉积电化学装置层于基板上；及对所述层进行微波退火，其中微波退火包括选择退火条件，使所述层优先吸收微波能量。用于形成电化学装置的设备可包含第一系统，所述第一系统用以沉积电化学装置层于基板上；及第二系统，所述第二系统用以对所述层进行微波退火，其中第二系统被配置以使所述装置层优先吸收微波能量。 | ||
| 搜索关键词： | 电化学 装置 微波 快速 热处理 | ||
【主权项】：
一种制造电化学装置的方法，所述方法包含：沉积所述电化学装置的层于基板上；及对所述层进行微波退火，其中所述微波退火包括选择退火条件，使所述层优先吸收微波能量，其中，所述电化学装置进一步包括薄热电材料层，所述薄热电材料层于所述薄热电材料层上层与所述薄热电材料层下层间提供一定程度的绝热效果，且其中所述薄热电材料层为Bi2Te3层。
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