[发明专利]感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置

摘要

本发明提供一种感光性树脂组合物，其可达成显影时以及用作硬化膜时的与基板的密接性。所述感光性树脂组合物含有：(A)包含满足下述(1)及(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分：(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元、以及(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元的聚合物、以及包括(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物；(B)非离子性光酸产生剂；(C)下述通式(S)所表示的化合物(式中，R¹表示包含至少1个以上氮原子的基团，A表示2价连结基，R²表示有机基)；(D)溶剂；以及(E)烷氧基硅烷化合物。

主权项

一种感光性树脂组合物，其含有：(A)包含满足下述(1)及(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分：(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元、以及(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元的聚合物、以及包括(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物；(B)非离子性光酸产生剂；(C)下述通式(S)所表示的化合物：通式(S)[化1](通式(S)中，R¹表示包含至少1个以上氮原子的基团，A表示2价连结基，R²表示有机基)；(D)溶剂；以及(E)烷氧基硅烷化合物。