[发明专利]空间光调制器及曝光装置有效
| 申请号： | 201380032513.4 | 申请日： | 2013-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN104380172B | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 铃木纯儿;铃木美彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所11247 | 代理人： | 林娜,段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种空间光调制器，包括基板；固定电极，设置于基板的表面上；连结部，一端与表面相连结；可动部，与连结部的另一端相连结，通过连结部的弹性形变而相对于基板摆动；支柱部，一端与可动部相接合，沿基板的厚度方向延伸，与可动部一体摆动；反射部件，与支柱部的另一端相接合，具有与可动部及支柱部一体摆动的反射面；可动电极，设置于反射部件的面向固定电极的面上；导体层，具有比可动电极的膜厚大的膜厚，设置在支柱部上，将可动部与可动电极之间电接合。 | ||
| 搜索关键词： | 空间 调制器 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种空间光调制器，包括：基板；固定电极，设置于所述基板的表面上；连结部，一端与所述表面相连结；可动部，与所述连结部的另一端相连结，通过所述连结部的弹性形变而相对于所述基板摆动；反射部件，包含半导体层并具有与所述可动部一体摆动的反射面；金属层，与所述半导体层相邻接；欧姆结部，将所述半导体层与所述金属层进行欧姆连结。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社尼康，未经株式会社尼康许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380032513.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
