[发明专利]泄漏检测装置以及具有该泄漏检测装置的流体控制器有效
申请号: | 201380033899.0 | 申请日: | 2013-07-11 |
公开(公告)号: | CN104685333B | 公开(公告)日: | 2017-08-04 |
发明(设计)人: | 土肥亮介;筱原努;西野功二;铜敏男;池田信一;山路道雄 | 申请(专利权)人: | 株式会社富士金 |
主分类号: | G01M3/24 | 分类号: | G01M3/24 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人: | 陈伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种泄漏检测装置及具有该泄漏检测装置的流体控制器,该泄漏检测装置能够实现小型化而始终安装在流体控制器等泄漏检测对象部件上,由此,能够始终监视流体的泄漏。流体控制器(1)由流体控制器主体(2)和安装在流体控制器主体(2)上的泄漏检测装置(3)构成。在流体控制器主体(2)上设有用于检测泄漏的泄漏口(16)。泄漏检测装置(3)具有传感器保持体(21),其安装在流体控制器主体(2)上;超声波传感器(22),其以与泄漏口(16)相对的方式保持在传感器保持体(21)上;超声波通路(23),其设在超声波传感器(22)的感应面与泄漏口(16)之间;处理电路(24),其处理由超声波传感器(22)得到的超声波。 | ||
搜索关键词: | 泄漏 检测 装置 以及 具有 流体 控制器 | ||
【主权项】:
一种泄漏检测装置,检测流体的泄漏,其特征在于,具有:传感器保持体;超声波传感器,其以与泄漏口隔开规定间隔地相对的方式保持在所述传感器保持体上,该泄漏口设在泄漏检测对象部件上并将所述泄漏检测对象部件内的密封部分和外部连通;直线状的超声波通路,其设在所述超声波传感器的感应面与所述泄漏口之间;处理电路,其处理由所述超声波传感器得到的超声波。
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