[发明专利]可更换晶片支撑托架

摘要

一种晶片容器，包括壳体部，该壳体部包括顶壁、底壁、一对侧壁、后壁、以及与后壁相对的门框架，该门框架限定正面开口，以及包括两个侧部晶片支架的晶片支撑结构，每一个侧部晶片支架包括可拆卸的托架。本发明包括借助于更换该可拆卸的托架来维护晶片容器。本发明包括将用于垂直地运输大直径晶片的运输容器转换成用于在制造设施中水平地存储晶片的容器，用于自动拾取晶片进行处理。

主权项

一种用于大直径半导体晶片的正面开口式容器，其包括：壳体部，该壳体部包括顶壁、底壁、左侧壁及右侧壁、后壁、以及与所述后壁相对的门框架，该底壁上设置有运动联接器，该门框架限定有正面开口，以及晶片支撑结构，该晶片支撑结构包括两个侧面晶片支架，每一个所述侧面晶片支架都包括间隔开且垂直对齐的多个晶片搁架，一个所述侧面晶片支架定位在左侧壁处，并且另一个所述侧面晶片支架定位在右侧壁处，每一个所述侧面晶片支架都具有用于容纳托架的朝后定位的附接结构；一对晶片托架，每一个所述晶片托架具有用于附接至所述晶片支撑结构的每一者的所述朝后定位的附接结构的配合附接结构，每一个所述晶片托架都具有多个垂直对齐的晶片接合表面，该晶片接合表面对应于所述多个晶片搁架中的每一个；其中所述一对晶片托架与所述两个侧面晶片支架中的一方具有多个水平延伸的凸起，并且所述一对晶片托架与所述两个侧面晶片支架中的另一方具有多个水平延伸的沟槽，该沟槽被构造为容纳所述凸起。